Brez ustreznega vzdrževanja koordinatnega merilnega stroja prihaja do izpadov stroja in zmanjšane natančnosti, kar vodi do dragih zamud in ogrožene kakovosti izdelkov.

Ločimo redni preventivni servis ter izredni servis koordinatnih merilnih strojev:

• Redni preventivni servis se po navadi izvede skupaj s kalibracijo koordinatnega merilnega stroja ter poleg vizualnega pregleda stroja vključuje popolno čiščenje sistema, izvajanje potrebnih pregledov in prilagoditev strojne ter programske programske opreme, priporočanje zamenjave obrabljenih delov ter prepoznavanje in preprečevanje drugih morebitnih težav s popravili, še preden se te težave pojavijo.
• Izredni servis koordinatnega merilnega stroja se izvede v primeru, ko stroj preneha z delovanjem. Po navadi je najprej potrebna defektaža stroja, da se ugotovi, kateri del je v okvari. Nekateri rezervni deli so dobavljivi po naročilu, saj je veliko različnih tipov strojev in rezervnih delov. Zadnja faza izrednega servisa je zamenjava rezervnega dela in testiranje stroja.